R&D자료

박막으로부터 반사된 광원을 파장 영역위로 분석하여 두께를 측정

이 기술은 분광 반사율로 일반적인 엘립소메트리 나 프로필로메트리 와 같은 기술보다 속도와 간결성 비용 면에서 합리적인 장점을 가지고 있음

두께 및 굴절률을 1초 안에 측정

[응용분야]

비정질 & 폴리실리콘

폴리실리콘과 무결정 실리콘의 광학 상수 굴절률(n)과 흡수율(k)은 특별한 적층환경을 가지고 있기 때문에 두께를 아주 정밀하게 측정해야 함.

측정 시에는 두께뿐만 아니라 실리콘 필름 결정화의 입도와 표면의 거칠기도 함께 고려

CMP

산화물, STI, 금속 CMP 공정에 사용

유전체 식각율, 잔여 유전체 두께와 균일성, 침식, STI에 잔여 산화물

유전체

SiO2 – SiO2- Silicon dioxide는 가장 쉬게 측정 할 수있는 물질중에 하나

이유는 거의 모든 빛을 파장을 흡수하지 않는 특성 (k=0)과 화학양론적인 특성 (Si:O 비율이 1:2에 가깝습니다.) 때문

열이 가해진 SiO2는 다루기가 쉬워서 두께와 굴절률을 측정할때 기준지수로 사용

하드코팅(hardcoat) 두께 측정

폴리카보네이트 렌즈와 반사판의 기본 코팅

외부 및 내부의 하드코팅 층

ITO, 금속두께, OLED, 안경코팅, 포토리지스트, 다공성 실리콘, 필름공정, 굴절률 & 흡수율, 실리콘 웨이퍼, 대양광, 웹코팅 등

(출처: https://www.filmetrics.kr/technology)

• 목록