R&D자료

주사전자현미경(Scanning Electron Microscope)**은 고에너지 전자빔을 시료 표면에 주사하여 매우 높은 해상도로 표면의 미세 구조와 성분을 분석하는 장비

표면형상 및 구조 분석에 필수적인 장비

기능: 고에너지 전자빔을 이용해 시료 표면의 미세 부위를 확대하여 관찰.

원리: 전자빔이 시료 표면에 주사되면서 발생하는 신호를 검출하여 3차원적인 이미지를 얻는다.

장비 구성:전자총, 자기렌즈, 전자 검출기(이차전자, 후방산란전자 검출기 등) 등으로 구성

[활용 분야]

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