R&D자료

특정 대상과 접촉하지 않고 전기 저항을 측정하는 장치

주로 와전류(Eddy-current) 방식을 사용하여 비금속 시료나 도전성 박막의 표면 저항을 측정하는 비접촉 면저항 측정기 등

비접촉 방식은 시료에 물리적 손상을 주지 않고 빠르게 저항 값을 측정할 수 있다는 장점이 있음

[주요원리]

와전류(Eddy-current) 원리:

코일에서 생성된 자기장이 시료에 와전류를 유도하고, 이 와전류가 만드는 자기장과 상호작용하는 정도를 측정하여 면저항 값을 계산

플레밍의 왼손 법칙에 따라 인덕션 코일에 자기장(Primary Field)을 걸면 샘플에 수직방향으로 전기장이 형성(Eddy-current)이 자기장의 수식방향으로 다시 자기장(Secondary Field)가 형성. 이때 마지막으로 발생한 자기장으로 인해 픽럽 코일에 전류가 흐르게 되고 이때의 저항값을 측정

[응용분야]

반도체 제조: 반도체 웨이퍼 및 박막 재료의 실시간 면저항 모니터링.

금속 산업: TCO(투명전도막) 및 금속 호일 등 도전성 재료의 두께 측정.

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